Síntesis Top-Down: Molienda y Litografía
Descripción
Cálculos
Primero, seleccione la ecuación:
a
,
luego, seleccione la variable:
a
Símbolo
Ecuación
Resuelto
Traducido
Cálculos
Símbolo
Ecuación
Resuelto
Traducido
Variables
Símbolo
Texto
Variable
Valor
Unidades
Calcule
Valor MKS
Unidades MKS
$NA$
NA_lens
Apertura numérica
1
$k_2$
k2_lith
Factor DOF
1
$k_1$
k1_lith
Factor Rayleigh
1
$k$
k_mill
Constante de molienda
1/s
$CD$
CD_lith
Dimensión crítica litográfica
m
$lambda$
lambda_exposure
Longitud de onda exposición
m
$DOF$
DOF_lith
Profundidad de foco
m
$d(t)$
d_particle_t
Tamaño de partícula molida
m
$d_0$
d_0_mill
Tamaño inicial
m
$t_{mill}$
t_mill
Tiempo de molienda
s
ID:(0, 1687)
gphysics.net - Dr. Willy H. Gerber
Palos Verdes, Costa de Corral, Chile
Palos Verdes, Costa de Corral, Chile
